高純度石墨在半導(dǎo)體制造中的特點(diǎn)

軸承是機(jī)械工業(yè)中常用的一種滑動(dòng)機(jī)件，材質(zhì)上又有金屬、非金屬、復(fù)合材料之別。石墨軸承則是隨著機(jī)械設(shè)備的性能要求，在金屬軸承的基礎(chǔ)上開發(fā)并發(fā)展起來的碳質(zhì)軸承，以石墨材料為主要基材。

?持久選用優(yōu)質(zhì)石墨材料進(jìn)行特殊加工，具有耐溫高，自潤滑性能好，便于推拉，不易附著其他物體，強(qiáng)度高，不易破損，在沒有潤滑劑的條件下與許多金屬部件磨擦?xí)r，石墨部件的磨擦系數(shù)只有0.04-0.05，其磨擦系數(shù)低，并且熱穩(wěn)定性很高，具有較高的導(dǎo)熱系數(shù)，熱膨脹系數(shù)又比較低，不易變形，尺寸穩(wěn)定?？筛鶕?jù)客戶要求加工各種形式大小的石墨料盤。

耐磨抗氧化涂層是由高性能碳化硅用cvd的方式附著在石墨表面進(jìn)行復(fù)合得到的高性能耐磨抗氧化材料。廣泛用于因沖蝕、氣蝕和高溫所需要的高性能材料，也用于在有耐磨、防腐要求的機(jī)件表面制備耐磨防腐涂層。

持久生產(chǎn)的耐磨類石墨材料廣泛用于現(xiàn)代工業(yè)的各種機(jī)械設(shè)備中。由于其有自潤滑，耐高低溫，耐摩擦，耐腐蝕，強(qiáng)度高等特性，所以能滿足強(qiáng)腐蝕，易燃易爆及放射性介質(zhì)下密封要求。

將天然高碳鱗片石墨通過化學(xué)處理并經(jīng)高溫膨脹軋制而成，石墨復(fù)合板又叫增強(qiáng)石墨板或高強(qiáng)石墨板是由沖刺的金屬齒板或金屬網(wǎng)板或金屬平板與純石墨紙復(fù)合輥壓而成的一種密封材料。

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